TFA型流量計は、飽和蒸気の計測用に設計されておりますので、過熱蒸気を計測することはできません。蒸気が流れることによって、センサー部が移動し、センサー部分を支えているシャフトが移動するため、シャフトに歪が生じます。この歪をストレンゲージ（歪ゲージ）によって検知し、流量信号に変換します。更に、内蔵された温度センサーによって蒸気の温度を検知し、補正演算を行うことによって、質量流量に変換されてディスプレイに表示します。瞬時流量は、DC4～20mAの信号として出力され、同時に積算流量もパルス信号として出力します。
